Отделение физики твердого тела ФИАН
Зав. лаб. Казаков Игорь Петрович
Молекулярно-пучковая эпитаксия – один из основных способов выращивания полупроводниковых и металлических наноструктур. Технология наноструктур по сути самостоятельная область физики твёрдого тела, можно сказать – важнейшая область наноматериаловедения. Придумать можно многое, но очень трудно реализовать это в конкретных устройствах и приборах современной электроники и оптоэлектроники, где активные области имеют толщину всего в несколько атомных слоёв. Технология – наука о том, как сделать.
В нашей лаборатории имеются как отечественные установки молекулярно-пучковой эпитаксии, так и установки французской фирмы RIBER (рис.), предназначенные для выращивания полупроводниковых наноструктур на основе арсенида галлия (Compact 21 T 3-5) и твёрдых растворов кремний-германий-олово (Siva 21 SiGe). Установки RIBER представляют собой наиболее современные образцы этой компаний – мирового лидера в данной области. В настоящее время производится их запуск. Все имеющиеся установки имеют комплекс аналитического оборудования, позволяющий контролировать и изучать процессы роста наноструктур. Научная работа сотрудников лаборатории, аспирантов и студентов заключается в исследовании процессов роста новых наноструктур, их физических свойств и установления зависимостей свойств от условий выращивания.
